Ответ:

Сначала на поверхности Земли образовалась твёрдая оболочка (3). Затем из вулканических газов возникла воздушная оболочка (2). При её остывании образовалась водная оболочка (4), а позднее в воде появились первые микроорганизмы (1).

Ответ: 3 → 2 → 4 → 1.