3. Вещества только с ковалентной полярной связью указаны в ряду: 1) CaF₂, Na₂S, N₂; 2) P₄, FeCl₃, NH₃; 3) SiF₄, HF, NH₃; 4) NaCl, Li₂O, SO₂.

В ряду 3 все вещества состоят из неметаллов, а связи Si–F, H–F и N–H являются ковалентными полярными. В других рядах присутствуют вещества с ионной либо ковалентной неполярной связью.

Ответ: 3) SiF₄, HF, NH₃.