Ответ:

Добиогенный этап: формирование земной коры и океанических бассейнов; образование первичной атмосферы.

Биогенный этап: появление и распространение живых организмов; накопление кислорода в атмосфере благодаря фотосинтезу.

Антропогенный этап: преобразование природных ландшафтов человеком (распашка земель, строительство городов); загрязнение воздуха и вод промышленными выбросами.