5. Формулы только простых веществ записаны в ряду: 1) PH₃, P₄, O₃; 2) NH₃, N₂, N₂O; 3) H₂, Fe, O₃; 4) H₂O, Cl₂, HCl.

Простые вещества состоят из атомов одного химического элемента. В варианте 3 все вещества простые: водород H₂, железо Fe и озон O₃. В остальных рядах есть сложные вещества, например PH₃, NH₃, N₂O, H₂O и HCl.

Ответ: 3.