5. Вариант 1: Cu + O₂ → CuO. Вариант 2: Si + F₂ → SiF₄.

Вариант 1. Уравниваем кислород, затем медь: \(2Cu + O_2 \rightarrow 2CuO\).

Вариант 2. В SiF₄ четыре атома фтора, значит, перед F₂ ставим 2: \(Si + 2F_2 \rightarrow SiF_4\).