Si + HF → SiF₄ + H₂

Балансируем уравнение.

1. В продукте SiF₄ содержится 4 атома фтора, поэтому ставим коэффициент 4 перед HF.
2. Получаем 4 атома водорода слева, значит, перед H₂ ставим коэффициент 2.

Si + 4HF → SiF₄ + 2H₂