Ответ:

  1. Изобретение первого микроскопа с двумя линзами в конце XVI века.
  2. Первое употребление термина «клетка» Робертом Гуком (1665 год).
  3. Открытие микроорганизмов Антони ван Левенгуком (1670-е годы).
  4. Появление электронного микроскопа (1931 год).

Сначала появился сложный микроскоп, затем Роберт Гук описал клетки, позже Левенгук наблюдал микроорганизмы, а электронный микроскоп был создан уже в XX веке.

Ответ: 1, 4, 2, 3.